製品紹介

流体温度制御製品(KELK製)

ケミカルサーキュレータ

流体温度制御製品 ケミカルサーキュレータ

詳細資料

金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、薬液の温度を高精度にコントロールする直接循環式薬液恒温装置です。

ケミカルヒータ

流体温度制御製品 ケミカルヒータ

詳細資料

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置。短時間に制度よく温度制御するためのインラインヒータです。

CSヒータ

流体温度制御製品 CSヒータ

詳細資料

クリーン・安全・小型・効率をコンセプトとしたインライン型薬液間接加熱装置。 薬液を短時間に精度よく温度制御するコンパクトなインラインヒータです。

超純水加熱装置

流体温度制御製品 純水加熱装置

詳細資料

ウェハー他の超純水洗浄用として、高品質の石英ガラスで二重に覆われたハロゲンランプで高速加熱するユースポイントに最適な温水供給装置です。