製品紹介

半導体工業用フッ素樹脂部品

ピラースーパーフィティング

半導体工業 ピラースーパーフィッティング

スーパー300タイプピラーフィッティング®は、半導体液晶製造プロセスにおける重要項目である “安全性” “クリーン度” “高温化での使用” “配管サイズへの適応性” 等々それぞれの高度で多様なご要求に、 確実にお応えできる全く新しいフッ素樹脂継手です。

ベローズポンプ

半導体工業 ベローズポンプ

テフロンベローズポンプは、強酸、強アルカリ、有機溶剤をはじめ、あらゆる液体に対して、 耐蝕性の強いテフロンを接液部に用いたベローズ式のポンプです。◎ベローズは、超精密加工によるベローズのため耐久性が高くなっています。 又、非常にコンパクト設計のため装置組込みも容易です。

バルブ

半導体工業 バルブ

金属製バルブでは使用に耐えない腐食性の強い流体や、酸とアルカリが交互に流れるプラントのプロセス配管および非粘着、 流体汚染などが嫌われる箇所に使用します。
ストップバルブ・チェックバルブ・流量調整バルブ・エアベントバルブ

PFAチューブ

半導体工業 PFAチューブ

フッ素イオンの溶出が少なくチューブ内面の平滑性にすぐれているスーパークリーンNEW PFAチューブです。

フッ素樹脂他加工製品

熱交換器

半導体工業 フッ素樹脂加工製品 熱交換機

カルレッツ・他Oリング

半導体工業 フッ素樹脂加工製品カルレッツ・他Oリング

テフロン一体成型タンク

半導体工業 フッ素樹脂加工製品テフロン一体成型タンク

PFA・石英槽

半導体工業 フッ素樹脂加工製品PFA・石英槽