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流体温度制御製品(KELK製)

ケミカルサーキュレータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型冷却加熱器により、薬液の温度を高精度にコントロールする直接循環式薬液恒温装置です。

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ケミカルヒータ

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置。短時間に制度よく温度制御するためのインラインヒータです。

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CSヒータ

クリーン・安全・小型・効率をコンセプトとしたインライン型薬液間接加熱装置。薬液を短時間に精度よく温度制御するコンパクトなインラインヒータです。

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超純水加熱装置

シリコンウエハ・液晶用ガラス基板の超純水洗浄用として、高品質の石英ガラスで二重に覆われたハロゲンランプで高速加熱するユースポイントに最適な温水供給装置です。

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